一种多轴方向测量流量传感器芯片

本实用新型涉及一种多轴方向测量流量传感器芯片。本实用新型包括衬底；中心热源结构，设置于所述衬底且呈十字结构；分别设置于所述衬底的第一上游热电堆测温元件、第一下游热电堆测温元件、第二上游热电堆测温元件和第二下游热电堆测温元件；所述第一上游热电堆测温元件和所述第一下游热电堆测温元件分别以所述中心热源结构的十字为XY轴坐标系的45°轴对称设置且长度方向与135°轴平行；所述第二上游热电堆测温元件和所述第二下游热电堆测温元件分别以所述中心热源结构的十字XY轴坐标系的135°轴对称设置且长度方向与45°轴平行；所述第一上游热电堆测温元件分别与所述第二上游热电堆测温元沿X轴对称设置。本实用新型适用于复杂气流环境下的流量监测。