一种隔热且高灵敏的流量传感器芯片

本实用新型涉及一种隔热且高灵敏的流量传感器芯片。本实用新型包括衬底；支撑结构层，设置于所述衬底表面；上游测温元件热电堆、下游测温元件热电堆和中心热源结构，分别设置于所述支撑结构层表面；钝化层，分别覆盖于所述上游测温元件热电堆、所述下游测温元件热电堆和所述中心热源结构；遮光隔热层，设置于所述钝化层表面且只覆盖于所述中心热源结构、所述上游测温元件热电堆的热端以及所述下游测温元件热电堆的热端上方。能够有效阻挡芯片内部热量向外扩散，使热量均匀分布在热端部分，从而提高芯片的灵敏度。