一种芯片及基板传送台

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一种芯片及基板传送台
申请号:CN202421629705
申请日期:2024-07-11
公开号:CN221529906U
公开日期:2024-08-13
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开了一种芯片及基板传送台,涉及半导体领域,用于在半导体或芯片生产中,对基板进行转移的过程中放置基板;其中,芯片及基板传送台包括:台面,台面沿水平方向延伸,台面用于供基板放置;定位销,定位销设置在台面的外周区域,定位销包括本体和保护套,保护套套设在本体上,保护套用于与放置在台面上的基板的外边缘相抵接;其中,保护套的强度低于基板的强度。通过本实用新型的结构,可通过在定位销的本体上套设强度低于基板的保护套,使得基板的崩缺现象极大减少,间接提高良品率。
技术关键词
传送台 基板 保护套 台面 芯片 半导体 强度
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