基于PID控制与TEC集成的激光成像系统快速温控装置

基于PID控制与TEC集成的激光成像系统快速温控装置，包括位于DMD芯片模组上的TEC制冷模组，所述的TEC制冷模组通过水管连接水冷机，且所述的TEC制冷模组还通过TEC电源线和信号线连接控制箱；TEC制冷模组包括导冷块，导冷块位于DMD芯片模组的上方；DMD芯片模组包括PCB电路板以及位于PCB电路板上的DMD芯片；所述的导冷块上方连接半导体制冷片的冷面，半导体制冷片的热面连接水冷头，水冷头上方分别连接有进水口和出水口，进水口和出水口分别连接一根水管。本实用新型的有益效果为：包含一个制冷片，具有体积紧凑、功率小、成本低、温控精度高的特点，保证了DMD芯片的工作温度，从而提升曝光机生产产品的质量标准和可靠性。