摘要
本实用新型提供了一种芯片加工用双面晶圆划片机,其属于芯片加工设备技术领域,其包括:划片机本体,清理组件,所述清理组件包括通过支架固定连接于划片机本体上表面的电机,所述电机的输出端固定连接有一号转轴,所述一号转轴通过轴承贯穿转动连接于划片机本体内顶面,所述一号转轴底端固定连接有吹风扇叶,除尘机构,所述除尘机构包括传动组件以及除尘组件。本实用新型中通过设置清理组件,可以对机体内部附着的灰尘以及杂质进行清理工作,无需人工进行,通过设置的除尘机构,利用清理组件的动力,来对内部的灰尘以及杂质进行去除,使得清洁操作更加便捷高效。
技术关键词
晶圆划片机
清理组件
除尘机构
除尘组件
双面
风扇叶
芯片
传动组件
锥齿轮
通风孔
筒体
轴承
灰尘
输出端
电机
支架
滤网
机体
皮带