摘要
本实用新型公开了一种光源检测密封装置及光源检测装置,属于半导体芯片检测设备技术领域。本实用新型的一种光源检测密封装置,包括连接架,用于与检测光源连接,且能够相对所述检测光源箱在第一位置和第二位置之间移动;所述连接架上设置透光玻璃,所述透光玻璃位于所述检测光源箱的下开口的一侧;所述透光玻璃与所述检测光源箱下侧之间设置密封件;所述连接架移动至所述第一位置时,其同时带动所述透光玻璃与所述密封件配合能够对所述检测光源箱的下开口进行密封。芯片位于检测光源箱的外侧,检测光源箱的下开口被密封后,芯片刚高温塑封完成后产生的蒸汽无法再影响并污染到检测光源箱内部的光源分光镜片,避免影响成像效果,提高芯片的外观检测精确度。
技术关键词
检测密封装置
光源箱
透光玻璃
过渡支撑架
光源检测装置
密封件
锁紧件
半导体芯片
分光镜
检测设备
镜像
成像
蒸汽
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