一种半导体芯片加工切割工装

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一种半导体芯片加工切割工装
申请号:CN202421725042
申请日期:2024-07-22
公开号:CN223223650U
公开日期:2025-08-15
类型:实用新型专利
摘要
一种半导体芯片加工切割工装,包括机体,机体的上侧壁上固定连接有电动滑轨,电动滑轨的滑座上固定连接有放置座,机体的上侧壁上后方固定连接有L形支板,L形支板的上侧外壁上固定连接有电动伸缩杆,电动伸缩杆的伸缩端滑动穿过L形支板的上侧壁并固定连接有固定座,固定座内滑动设有移动块。本实用新型与现有技术相比优点在于:在对晶圆分切的过程中,在第一风机的作用下,空气从排风空心板吹出,将分切时产生的粉尘吹至吸风空心板,在第二风机的作用下,吸风空心板内产生负压,使得粉尘进入到除尘箱内并被除尘滤芯过滤,保证生产环境的清洁度,提高产品质量,更加实用。
技术关键词
切割工装 半导体芯片 空心板 除尘 双向螺杆 机体 滤芯 防尘组件 风机 切割电机 移动块 切割轮 排风 连杆 调节旋钮 滑座 粉尘 磁铁 滑块 滑槽
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