一种适用于晶圆Bar条震洗夹具

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正文
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一种适用于晶圆Bar条震洗夹具
申请号:CN202421786032
申请日期:2024-07-25
公开号:CN222890299U
公开日期:2025-05-23
类型:实用新型专利
摘要
一种适用于晶圆Bar条震洗夹具,包括夹具本体,所述夹具本体的上端面设有若干个用于容置芯片BAR条的容置槽,所述夹具本体的下端设有若干个开设方向与所述容置槽的开设方向相垂直的滴落槽,以使所述滴落槽的上端面形成用于支撑芯片BAR条的支撑面,本申请设置有若干个容置槽,可以将多个芯片BAR条有序摆放在每个槽内,采取增加夹具主体高度的方式使每个容置槽相互独立,由于每个容置槽相互独立,因此在震动清洗或者氮气吹干的时候不会造成BAR条相互碰撞而产生损坏。
技术关键词
夹具本体 芯片 夹具主体 氮气
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