镀膜设备

本申请涉及一种镀膜设备，包括石墨舟、遮挡组件和移动组件，石墨舟包括多个舟片，多个舟片彼此平行且间隔设置，舟片设有多个镂空槽，遮挡组件包括盖板和多个隔板，多个隔板彼此平行且间隔设置，且均与盖板相连接，移动组件用于驱使盖板与石墨舟相对移动，使得盖板能够带动多个隔板移动至覆盖多个舟片的正面，且能够带动多个隔板移动至覆盖多个舟片的背面。本申请的镀膜设备，不用转移硅片就可以实现对硅片进行双面镀膜，提高镀膜效率，同时，减少硅片破碎风险，利用舟片的镂空槽可以增加特气流量与硅片表面接触的面积，增加薄膜沉积的速率，以改善钝化效果，从而改善了镀膜品质。