一种红外图像传感器晶圆响应率测试装置

本实用新型涉及一种红外图像传感器晶圆响应率测试装置，包括黑体组件、快门组件、光栏组件、采集组件、探针组件、上位机，所述光栏组件包括改变黑体入射能量大小的光栏，所述采集组件包括采集所述第一黑体或者所述第二黑体温度的采集板，所述探针组件包括起支撑作用的探针台、设置探针的探针卡，所述探针台中设置承载晶圆的承载板，所述采集板采集所述第一黑体、所述第二黑体的信息，所述采集板还包括在调整所述第一快门和所述第二快门以及所述光栏情形下的信息采集，所述探针卡上的探针电连接所述上位机并将采集信息传送到所述上位机以进行测试。本实用新型通过设置黑体组件，可以方便对晶圆上芯片进行晶圆响应率进行测试，同时，可以直接对晶圆上的芯片进行测试，提高了测试效率。