摘要
本实用新型涉及石英坩埚表面质量自动检测技术领域,且公开了一种坩埚夹具,包括夹具和坩埚,坩埚可设置于夹具的正下方;所述夹具包括支撑夹爪组件、驱动夹爪组件,真空吸盘、直线导轨、伺服电缸和连接法兰,所述坩埚的底部设置有来料工位,所述夹具的顶部连接有机器人,所述机器人的左右两侧分别设置有a视觉检测设备和b视觉检测设备,所述机器人的外侧设置有下料工位。该坩埚夹具,通过采用机器人及坩埚夹具从输送线抓取坩埚,把坩埚运送到视觉检测设备的检测区域,机器人及坩埚夹具夹持工件,配合视觉检测要求的轨迹,操纵坩埚旋转、水平移动、上下移动、前后移动等各种复杂运动,对坩埚进行全面的视觉检测,能大幅度提高检测质量和效率。
技术关键词
坩埚夹具
驱动夹爪
视觉检测设备
夹爪组件
直线导轨
伺服电缸
安装底板
直线往复运动
同步带轮
立板
机器人
动力滚筒
表面质量自动检测
氮气弹簧
气管接头
上支撑板
真空吸盘
滑块