摘要
本实用新型涉及半导体技术领域,尤其涉及一种密封性的半导体芯片储存装置,内设有主箱体,主箱体内设有开口向前的密封腔,密封腔后壁上固定设有橡胶圈,进而橡胶圈起到防水与密封的作用,主箱体前侧设有盖子机架且盖住主箱体前端面,盖子机架后端面插入密封腔内,盖子机架内设有抽气腔,盖子机架前端面固定设有真空泵且盖住抽气腔,进而真空泵起到抽真空的作用,盖子机架上固定设有排气阀,排气阀起到排气与便于打开盖子机架的作用,从而确保了半导体芯片处于真空的状态,进一步防止了在储存的过程中半导体芯片会与空气接触产生氧化,从而保护了半导体芯片的性能,从而延长了储存的时长。
技术关键词
半导体芯片
储存装置
主箱体
盖子
螺纹滑块
机架
密封腔
排气阀
橡胶圈
真空泵
丝杆
泡沫板
抽真空
控制器
电机
动力
空气