摘要
本实用新型公开了一种基于硅基集成芯片的探测器件,包括硅基集成芯片,所述硅基集成芯片一端连接有光纤阵列,所述硅基集成芯片上设置有第一分波导结构、第二分波导结构和两个光电探测器;所述第一分波导结构包括输入支路IN、第一输出支路OUT1和第二输出支路OUT2,所述第二分波导结构包括第一输入端口IN1、第二输入端口IN2和两个输出端口,所述两个输出端口分别与两个光电探测器连接;所述第一分波导结构的第一输出支路OUT1与第二分波导结构的第以输入端口IN1连接,相比现有技术,本实用新型将芯片与器件结合,集成度高,调试方法简单有效,有利于批量化生产;采用集成化,缩小了整体的体积,提高了光器件的适用范围。
技术关键词
硅基集成芯片
波导结构
光纤阵列
光电探测器
支路
二氧化硅系材料
端口
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