晶圆载具仓储系统

本实用新型提供一种晶圆载具仓储系统，包括仓储本体、多个暂存载台模块、搬运机器人、移载模块以及控制模块。仓储本体具有载入端口与输出端口。暂存载台模块设置于仓储本体内，且位于载入端口的上方。搬运机器人活动地设置于仓储本体内，以在载入端口、暂存载台模块与输出端口之间移动。移载模块设置于载入端口。控制模块电性连接搬运机器人与移载模块。载入端口适配于多种型式的晶圆载具或多种型式的载入装置。控制模块驱动移载模块与搬运机器人，以将晶圆载具移至暂存载台模块或输出端口。本实用新型提供的晶圆载具仓储系统，其整合多种型式的晶圆载具为传送对象，据以提高适配范围与兼容性。