具校正模块的基板处理设备

本实用新型提供一种基板处理设备，包括设备框体、校正模块、方形基板校准器、晶圆校准器、搬运机器人以及控制模块。设备框体具有腔体室与多个载入端口。校正模块、方形基板校准器与晶圆校准器分别设置于设备框体内，其中校正模块适于容置至少一方形基板与至少一圆形基板。搬运机器人可移动地设置于设备框体内，且腔体室、载入端口、校正模块、方形基板校准器与晶圆校准器分别位于搬运机器人的动作路径上。控制模块电性连接搬运机器人、校正模块、方形基板校准器与晶圆校准器。本实用新型提供的具校正模块的基板处理设备，通过校正模块以分别对方形基板校准器与晶圆校准器进行系统内校正，以通过系统内校而提高基板处理设备的运作效率及准确程度。