一种半导体芯片固化处理装置

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正文
推荐专利
一种半导体芯片固化处理装置
申请号:CN202421919464
申请日期:2024-08-09
公开号:CN222953041U
公开日期:2025-06-06
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及半导体芯片加工技术领域,具体为一种半导体芯片固化处理装置,包括固化箱、传动杆、传动带、承载构件与进出料口,所述固化箱的一侧上端位置处设置有收纳箱,所述收纳箱的外侧安装有贯穿式丝杆电机,所述贯穿式丝杆电机的内部设置有丝杆,所述丝杆的一侧安装有加热板,所述承载构件包括固定板,所述固定板的内侧设置有平衡板。承载构件在固化箱的内部移动,通过承载构件能完成不间断上料与出料操作,提高半导体芯片的加工速度,通过固化箱内部的热量对半导体芯片预热并降低固化后的冷却速度,避免半导体材料冷、热过快导致制作后的半导体芯片上出现裂纹,提高半导体芯片的固化效果。
技术关键词
半导体芯片 固化箱 承载构件 平衡板 调节伸缩杆 收纳箱 传动杆 定位构件 电机 安装板 倾角传感器 丝杆 半导体材料 滑套 齿轮 推板 加热 裂纹 速度
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