红外显微镜物镜

本实用新型公开了一种红外显微镜物镜，包括镜筒、设置于镜筒内的内部组件以及将内部组件固定于镜筒内的锁紧件；内部组件沿着光轴由像侧至物侧依序包括：第一透镜、第一间隔件、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第二间隔件、第五透镜、第三间隔件、第六透镜、第四间隔件和第七透镜；锁紧件设置于第一透镜像侧；第二间隔件内一收缩处为光阑；其中第二透镜的物侧面与第三透镜的像侧面胶合，第三透镜的物侧面与第四透镜的像侧面胶合，第二透镜、第三透镜和第四透镜形成具有负光焦度的三胶合透镜。本实用新型具有严格的场曲约束和畸变约束，并具有物方高分辨率，工作波段为近红外，可以准确、清晰的检测出硅基芯片、晶圆等的缺陷。