一种晶片电阻率多点测量分选装置

本实用新型公开了一种晶片电阻率多点测量分选装置，包括上料机构、下料机构、检测机构和搬运机构，上料机构包括上料输送线，下料机构包括与上料输送线平行设置的下料输送线，检测机构设于上料输送线和下料输送线的外侧，检测机构用于不同规格晶片电阻率多点测量；搬运机构设于检测机构的内侧，搬运机构用于将上料输送线上晶片放至检测机构和将检测机构处晶片放至下料输送线；下料输送线上设有PN检测组件，PN检测组件位于检测机构的下游。本申请能够实现不同规格晶片的电阻率多点自动测量并根据检测机构结果自动分选下料，自动区分晶片PN类型，自动化程度高，降低人工投入；产能提升，提高产品流转效率；提高产品质量，统一检验标准。