一种新型多腔室金刚石生长及掺杂设备

本实用新型涉及一种新型多腔室金刚石生长及掺杂设备，它属于金刚石设备领域。本实用新型包括中转腔、本征反应腔、N型掺杂腔、P型掺杂腔、进料腔和高真空门阀和自动控制系统，中转腔与本征反应腔、N型掺杂腔、P型掺杂腔、进料腔之间采用门阀连接，实现不同腔室之间的真空隔离与真空互联；本征反应腔、N型掺杂腔、P型掺杂腔和进料腔均与自动控制系统连接；中转腔内部安装机械臂；机械臂末端安装用于取样送样的机械爪，实现不同腔室之间材料的转移。本实用新型结构设计合理，安全可靠，采用多个反应腔体加上中间转移腔体的方式，在实现金刚石材料同质及异质结构生长的同时，实现材料在不暴露在大气环境下的转移，满足使用需求。