一种芯片背腔结构的固晶装置

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正文
推荐专利
一种芯片背腔结构的固晶装置
申请号:CN202422403691
申请日期:2024-09-30
公开号:CN223155989U
公开日期:2025-07-25
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及芯片固晶技术领域,具体为一种芯片背腔结构的固晶装置,包括工作台,所述工作台的内部设有开槽,所述开槽的内部设有第一限位组件,所述工作台的顶部设有放置腔,所述放置腔的内部设有第二限位组件,所述开槽的一侧设有第一机械臂,所述第一机械臂的一侧设有第二机械臂,所述第二机械臂的一侧设有吸盘组件,所述开槽的另一侧设有滴胶组件,所述工作台的顶部设有第一CCD拍照组件,所述工作台连接按压台,所述按压台的顶部设有按压组件,所述按压台的内部设有输送组件,利用吸盘组件、滴胶组件、CCD拍照组件、按压组件的结构,解决了该装置固晶的时候通过丝杆往复,滴胶、吸取芯片响应较缓慢,整体的固晶效率可以更高效的问题。
技术关键词
背腔结构 CCD拍照 工作台 吸盘组件 按压组件 限位组件 机械臂 压力传感器 芯片固晶技术 丝杆螺母 输送组件 推板 蠕动泵 激光测距传感器 真空吸盘 输出端 位移传感器 储胶箱
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