摘要
本申请涉及晶圆挑粒机领域,且公开了一种用于芯片晶圆的自动挑粒装置,包括控制箱和挑粒箱,所述控制箱的顶部固定安装有调节架,所述调节架的一端固定连接有离子枪,所述控制箱的顶部转动安装有放置盘,所述挑粒箱的表面固定连接有转动电机,所述转动电机的输出端固定安装有转动叶,所述转动叶的表面与挑粒箱内壁转动连接;本申请通过将挑粒箱安装在控制箱顶部,挑粒箱的表面安装有转动电机,转动电机的输出端安装有转动叶,转动叶的表面与挑粒箱内壁转动连接,且挑粒箱的一端连通有吸入管,以便于借助转动电机操控转动叶旋转,使挑粒箱内壁产生负压风流,从而将物料从吸入管一端吸入,有效提升挑粒机构的工作效率。
技术关键词
控制箱
清理槽
离子枪
芯片
转轴组合
电机
底架
字形结构
输出端
轴对称
检测器
尺寸
直线
导线
橡胶