摘要
本实用新型涉及焊炉技术领域,提供一种芯片焊接真空焊接炉,包括上腔体、下腔体、至少一个冷却管、至少一个下加热管、至少一个阻尼机构、转轴、至少一个第一固定块、至少一个第二固定块和至少一个弹性件;所述上腔体设置在所述下腔体的上方,所述上腔体和所述下腔体形成真空腔体,所述第一固定块固定在所述上腔体的边侧,所述第二固定块设置在所述下腔体的边侧,所述弹性件的一端设置在所述第一固定块内部,所述弹性件的另一端设置在所述第二固定块的内部,所述弹性件的内部设置所述转轴,所述冷却管设置在所述下腔体的内部,所述下加热管垂直所述冷却管,所述转轴的两端对称设置所述阻尼机构。避免了快速打开以及对操作人员造成安全威胁。
技术关键词
真空焊接
芯片焊接
高密封插板阀
阻尼机构
冷却管
支撑立柱
安装机构
真空腔体
支撑机构
支撑框架
阻尼器
防护板
观察窗
弹性件
分子泵
加热
氮气