一种用于芯片粘接的气泡去除装置

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一种用于芯片粘接的气泡去除装置
申请号:CN202422588375
申请日期:2024-10-25
公开号:CN223333755U
公开日期:2025-09-12
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及芯片生产技术领域,公开了一种用于芯片粘接的气泡去除装置,包括工作箱,所述工作箱内壁固定连接有电机,所述电机输出端固定连接有转动轴,所述转动轴外壁转动连接有连接杆,所述连接杆外壁转动连接有传动杆,所述传动杆外壁转动连接有连接板一,所述连接板外壁一中部转动连接有连接块,所述连接块内部转动连接有固定杆,所述固定杆外壁固定连接有连接板二,所述连接板二外壁一侧固定连接有限位块,所述限位块内部滑动连接有振动杆,所述振动杆内部固定连接有固定轴,所述固定轴外壁转动连接有连接板一。本实用新型中,电机通过传动装置使放置台震动,协同加热板使气泡浮至芯片表面,达到高效地去除芯片内气泡的效果。
技术关键词
工作箱 振动杆 气泡 芯片 密封盖 转动轴 传动杆 加热组件 抽气泵 传动装置 限位块 电机 气管 输出端 输入端 箱门 凹槽 风扇
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