摘要
本实用新型涉及芯片生产技术领域,公开了一种用于芯片粘接的气泡去除装置,包括工作箱,所述工作箱内壁固定连接有电机,所述电机输出端固定连接有转动轴,所述转动轴外壁转动连接有连接杆,所述连接杆外壁转动连接有传动杆,所述传动杆外壁转动连接有连接板一,所述连接板外壁一中部转动连接有连接块,所述连接块内部转动连接有固定杆,所述固定杆外壁固定连接有连接板二,所述连接板二外壁一侧固定连接有限位块,所述限位块内部滑动连接有振动杆,所述振动杆内部固定连接有固定轴,所述固定轴外壁转动连接有连接板一。本实用新型中,电机通过传动装置使放置台震动,协同加热板使气泡浮至芯片表面,达到高效地去除芯片内气泡的效果。
技术关键词
工作箱
振动杆
气泡
芯片
密封盖
转动轴
传动杆
加热组件
抽气泵
传动装置
限位块
电机
气管
输出端
输入端
箱门
凹槽
风扇
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