配合智能搬运机器人用的不同尺寸硅片片篮共用储位结构

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种配合智能搬运机器人用的不同尺寸硅片片篮共用储位结构。其包括底部安装板、设置在所述底部安装板上的多功能限位组件、以及设置在所述底部安装板上的护栏，所述多功能限位组件包括设置在所述底部安装板上的底面限位块、设置在所述底面限位块前端的前端顶持限位块、以及设置在所述底面限位块后端的后端支撑块，所述底部限位块呈三角形结构，且所述底部限位块高度低的一侧靠于所述前端顶持限位块设置，所述底面限位块上开设有凹槽。本实用新型的有益之处：本技术方案在同一个安装板上设置能够同时配合不同尺寸进行限位的限位结构，以此能够配合不同尺寸的片篮进行安装。