一种芯片聚焦离子束实验检测用载物台结构

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正文
推荐专利
一种芯片聚焦离子束实验检测用载物台结构
申请号:CN202422677317
申请日期:2024-11-04
公开号:CN223485648U
公开日期:2025-10-28
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开了一种芯片聚焦离子束实验检测用载物台结构,涉及芯片实验检测技术领域,包括载物台,所述载物台呈板状,所述载物台的一侧设置有安装槽,所述安装槽呈方形凹槽状;实验台,所述实验台呈圆盘状,所述实验台设置于所述载物台上,所述实验台与所述载物台可拆卸相连,所述实验台用于对实验芯片进行截面制样薄片;附件安装组件,所述附件安装组件包括:附件安装台;夹片。本实用新型通过将钼网被夹片弯曲抵接于卡槽上,以实现让钼网进行固定限位,保证对钼网的位置限位固定效果,同时利用夹片在夹槽处对钼网进行弹性夹持,在需要调整位置时也可以进行调整,也即有效实现解决现有技术中存在对钼网进行限位固定效果差的缺点。
技术关键词
载物台结构 附件安装组件 实验台 离子束 芯片 安装台 锁紧件 夹片 安装槽 插接杆 方形 弯曲 薄片 检测设备 圆盘 夹槽 安装块 凹槽
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