一种锁紧装置

本实用新型公开了一种锁紧装置，包括基座以及与所述基座固定连接的驱动机构，所述驱动机构驱动连接有两个第一滑块，所述驱动机构用于驱动两个所述第一滑块相向或背向运动，每个所述第一滑块均固定连接有连接板；所述基座远离所述驱动机构的一侧设置有两个对称布置的斜面，每个所述斜面上滑动连接有安装座，所述安装座转动连接有夹爪；所述连接板设置有腰型孔，所述安装座固定连接有连接轴，所述有连接轴滑动连接于所述腰型孔内。该锁紧装置仅需使用一个气缸即可实现在紧凑空间中夹爪的伸出解锁和夹爪内嵌锁紧，同时集成了自动检测夹爪开闭合状态的功能，从而在保证固定扩膜装置稳定运行的同时，提高了芯片捡取过程的自动化水平和生产效率。