摘要
本实用新型提供一种三维扇出型封装结构,通过设置第一金属柱和第二金属柱结构且其高度可调整,控制支撑基板与第一芯片之间的距离,从而能够使得封装结构塑封过程中,塑封材料能够流入间隙,最终填满第一芯片、第二芯片、第一金属柱、支撑结构及被动组件,形成一次塑封层结构,不仅简化了工序,也避免了不同塑封层热膨胀系数不匹配而分层的问题;另外,由于所述支撑基板与所述第一重新布线层距离可调,因此在改善芯片的散热效果同时可允许增加所述第一芯片的数量。再者,通过采用单颗布线基板结构代替传统的第二重新布线层,简化了工艺步骤,避免了高温烘烤引发凸块焊点发生损坏的问题,降低了工艺制造成本,保证了芯片的稳定性能。
技术关键词
支撑基板
芯片
凸块
金属柱结构
聚酰亚胺层
环氧树脂层
半导体基板
磷硅玻璃
布线基板
金属基板
陶瓷基板
封装结构
玻璃基板
硅胶
氧化硅
尺寸
介质
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