摘要
本申请涉及一种芯片转移装置及芯片上料设备,包括机架、工作台、拾取翻转机构和转交机构;工作台设于机架上,工作台用于承载并处理晶圆;拾取翻转机构包括第一驱动模组和两个拾取翻转组件,第一驱动模组位于工作台沿第一方向的一侧并设于机架上;两个拾取翻转组件与第一驱动模组连接;拾取翻转组件用于拾取并带动晶圆上的芯片翻转180°;第一驱动模组用于驱动两个拾取翻转组件沿第一方向交替运动;转交机构包括两个转移组件,两个转移组件位于工作台沿第二方向的两侧;两个转移组件与两个拾取翻转组件对应,每一转移组件用于承接并转移对应的拾取翻转组件上的芯片。如此,能够降低芯片发生污染和损伤的风险,降低人工成本,提高芯片生产效率。
技术关键词
芯片转移装置
驱动模组
翻转组件
顶针组件
成像单元
移动组件
夹持组件
工作台
旋转组件
上料设备
机架
翻转机构
直线
晶圆
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驱动件
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