芯片缺陷多面检测装置

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芯片缺陷多面检测装置
申请号:CN202423090777
申请日期:2024-12-13
公开号:CN223597541U
公开日期:2025-11-25
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开了芯片缺陷多面检测装置,包括检测壳体,所述检测壳体上安装有用于芯片多面展示的显示机构,所述检测壳体内安装有相机,所述检测壳体上还安装有用于驱动相机在检测壳体内调节光斑大小的调节机构。本实用新型通过设置的直角棱镜模组、面光源、分光棱镜与中孔面光源的配合,四个直角棱镜闭合在一起形成一个正方形腔室,芯片放置在正方形腔室内,这时相机可以同时检测芯片正面与4个侧面;通过设置的调节机构,由于产品小,需要用到远心镜头,而远心镜头的工作距离相对固定,因此为了方便对焦,本装置设计了对焦的调节机构,通过旋钮可以调节远心镜头的位置,使拍摄到的画面清晰地显示出来。
技术关键词
直角棱镜 面光源 分光棱镜 远心镜头 显示机构 壳体 相机 螺纹杆 模组 检测芯片 滑块 光斑 往复运动 画面 腔室 正面
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