摘要
本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种半导体芯片的镀膜治具,包括底座、吸附部件以及固定组件,所述吸附部件设于所述底座,所述吸附部件用于自动排巴机吸附夹具,所述吸附部件具有第一承载面以及第二承载面,沿所述底座的高度方向,所述第一承载面高于所述第二承载面,所述第一承载面用于承载所述自动排巴机输出的陪条,所述第二承载面用于承载所述自动排巴机输出的巴条,所述固定组件用于固定所述巴条和所述陪条。采用本实用新型的镀膜治具,能够避免在镀膜时出现粘粘的情况,镀膜质量较高。
技术关键词
镀膜
半导体芯片
吸附夹具
弹性件
底座
框体
垫块
锁紧件
挡片
垫片
通孔
作用力
间距