磁悬浮机器人及半导体生产设备

本发明涉及机械手领域，提供一种磁悬浮机器人及半导体生产设备，其中，磁悬浮机器人，包括：操作平台，操作平台设有定子组件；机械手，机械手包括机械臂和安装座，机械臂安装在安装座上，安装座设置有磁铁；安装座通过磁铁与定子组件的配合在操作平台上移动。用以解决现有技术中移动受限及洁净度低的缺陷，本发明提供的磁悬浮机器人，通过在操作平台上设置定子组件，在机械手的安装座上设置磁铁，定子组件通电后与操作平台形成磁悬浮，使得机械手磁悬浮在操作平台上，并通过控制定子组件的电学参数，控制机械手的平移和转动，提高机械手的移动自由度，避免机械手移动过程中产生灰尘，提高洁净度。