一种基于视觉引导的半导体激光清洗方法

一种基于视觉引导的半导体激光清洗方法，涉及半导体零部件激光清洗技术领域，采集待清洗工件的三维几何数据和表面图像数据，构建待清洗工件的三维模型；对三维模型进行点云分析，将三维模型中各点的梯度、高斯曲率、平均曲率和纹理特征集标记为关键特征；将三维模型转换为拓扑无向图，在拓扑无向图中标记关键点和背景点，设置拓扑无向图中各个无向边的权重标注，将拓扑无向图中的节点划分为关键点和背景点；对三维模型中的关键点进行路径规划，获取激光清洗路径，构建激光参数控制模型，获取激光清洗路径中各个关键点的激光参数；对待清洗工件的激光清洗操作以及激光参数控制模型进行实时监控与反馈修正，从而提高清洗质量和效率。