摘要
本发明公开了镀膜机,镀膜机包括:工艺腔室组合,其包含按照镀膜工艺顺序设置且各自密封的至少两个工艺腔室,所述工艺腔室内设有用于运输工件架的传送机构;运输机构,所述工艺腔室组合的出口侧送出的工件架通过所述运输机构运回所述工艺腔室组合的进口侧,所述运输机构配置有用于顶起并转动所述工件架的顶转装置;上下料机构,其配合所述顶转装置拆装所述工件架的工件。本发明按照镀膜工艺顺序设置工艺腔室,通过运输机构在工艺腔室组合的出口侧和进口侧之间循环运送工件架,再通过上下料机构对工件架的工件进行拆装,实现多腔室循环镀膜,显著提升镀膜效率。
技术关键词
工艺腔室
镀膜机
运输机构
工件架
镀膜工件
工件缓存设备
料机构
层板
下料机器人
镀膜工艺
贴片设备
门阀
清洗设备
传送机构
上料机器人
框架
门板
清洗基片