一种基于镀膜质量的真空镀膜设备故障检测方法及系统

本发明提供一种基于镀膜质量的真空镀膜设备故障检测方法及系统，涉及真空镀膜设备检测技术领域，方法包括：通过调整各种故障类别和正常状态下的自变量获取因变量；根据故障对照数据集，构建故障对照数据集的多元线性回归模型；结合信息准则确定故障对照数据集的最优分位数；并利用多元线性回归模型对每段故障对照数据集进行回归，获取每段故障对照数据集下的多元线性回归模型系数；计算各个镀膜质量数据对各个影响因素的影响权重；结合各个影响权重构建用于输出故障类别的具有加权值的朴素贝叶斯分类器；获取实时镀膜质量数据；将实时镀膜质量数据作为改进朴素贝叶斯分类器的输入数据，输出预测故障类别。提升故障检测效率和准确性。