一种用于CD-SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统

本发明公开一种用于CD‑SEM量测的参数预测模型构建方法、预测方法及预测系统，其模型构建方法包括：获取数据集，所述数据集包括至少一组具有邻近效应特征的数据组，每组数据组均包括有标准数据以及SE信号组，所述标准数据包括深宽比数据和/或高度数据，具有邻近效应特征的数据组中的SE信号组为对具有相邻结构的几何结构进行电子束扫描产生的二次电子信号；以数据集中的同组数据组内的SE信号组为输入，以同组数据组内的标准数据为输出，对预先构建的神经网络模型进行训练，得到用于在CD‑SEM量测中对深宽比数据和/或高度数据进行预测的参数预测模型。本发明无需对硬件结构进行修改，从而不存在对硬件结构复杂化的问题，不存在可靠性影响的问题。