一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法

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正文
推荐专利
一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法
申请号:CN202510016806
申请日期:2025-01-06
公开号:CN119993862B
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
本发明提出了一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法,属于精密环境调控领域,所述方法包括如下步骤:在预设空间的边界点上布设环境数据采集传感器和环境调控单元,通过环境数据采集传感器对预设空间中的环境参数进行定时监测,并将正在监测的空间进行区域划分,在每个区域中进行阵列分割,根据调整精度调整阵列分割数量;在每个阵列分割的区域中标定环境关联检测点,所述环境关联检测点将环境数据采集传感器和环境调控单元收集数据进行规整,并计算每个环境关联检测点与环境数据采集传感器之间的间距,将每个环境关联检测点与数据采集传感器的相对位置数据以及数据采集传感器采集的环境参数反馈至后台服务器内。
技术关键词
数据采集传感器 精密环境控制 检测点 调控单元 后台服务器 半导体 芯片 阵列 间距 参数 精度
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