摘要
本发明涉及半导体制造的技术领域,尤其涉及一种芯片打线拍照检测装置,包括机壳,机壳上设有用于输送芯片的皮带输送组件,机壳顶部从左至右间隔滑动式连接有三个隔板,以将机壳内部分隔成三个腔室,机壳顶部设有用于驱使隔板升降的升降组件,机壳内侧底部的左侧连接有用于支撑芯片的支撑台,左侧腔室内设有打线拍照机构。通过反光镜一将芯片表面的图像反射至反光镜二上,再通过摄像头一对反光镜二上的芯片表面图像进行拍摄。电机二能够驱使镜座带动反光镜二转动,依次与四周最上侧的反光镜一对准,从而使摄像头一能够拍摄到芯片四周表面的图像,实现对芯片外表面的全面拍摄检测,提高检测的全面性,从而提高检测结果的准确性和可靠性。
技术关键词
拍照检测装置
反光镜
三轴移动平台
机壳
输送组件
芯片
拍照机构
纠偏机构
支撑台
管架
升降杆
转动轴
环形光源
升降组件
皮带
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循环泵
安装罩
传动组件
隔板
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