一种可灵活脉动的存内阵列测试装置及其操控方法

本发明属于微电子相关技术领域，其公开了一种可灵活脉动的存内阵列测试装置及其操控方法，装置包括子板阵列，每个子板包括芯片座、数模转换模块、驱动模块、差分读出模块、模数转换模块、移位累加模块和第一至第四双向接口；芯片座放置存内阵列芯片；数模转换模块将输入向量转换为电压信号，驱动模块提供驱动电流；差分读出模块包括两个反相放大电路和一个加减法电路，对存内芯片的结果进行差分采样后输出至模数转换模块进行模数转换，移位累加模块对模数转换结果和其他子板的数字信号进行移位累加得到结果向量。基于该测试装置，可以实现对存内芯片的测试且灵活性较强。