经由基于地面真值测量的X射线建模对样本的结构性质进行非破坏性估计

本文公开了一种用于样本的非破坏性表征的系统。所述系统包括：电子束(e束)源，所述e束源用于将e束以一个或多个e束着陆能量投射到样本上；X射线检测器，所述X射线检测器用于感测从样本发射的X射线，从而获得测量数据；以及处理电路系统。所述处理电路系统被配置为：(i)从测量数据中提取由向量指定的关键特征；以及(ii)基于和地面真值(GT)参考样本的关键特征的向量集来估计表征样本的一个或多个结构参数的值中的每一者是对由于用e束以一个或多个着陆能量中的每一者撞击参考样本而从参考样本发射X射线的测量的结果。