基于人工智能的蚀刻工艺评估方法及系统

本发明提供的基于人工智能的蚀刻工艺评估方法及系统，涉及人工智能技术领域。在本发明中，首先，确定出光刻图案语义向量；其次，通过蚀刻工艺评估网络包括的向量空间转换单元，对光刻图案语义向量进行空间转换操作，输出对应的光刻图案转换向量；然后，依据光刻图案转换向量，通过蚀刻工艺评估网络包括的蚀刻工艺评估单元，将目标蚀刻工艺包括的多种局部蚀刻工艺进行联合挖掘与评估操作，输出目标蚀刻工艺对应的目标工艺评估数据。基于上述内容，可以改善现有技术中存在的蚀刻工艺评估的效率和可靠性相对不高的问题。