一种超分辨多焦点结构光照明干涉散射显微成像方法及系统

本发明公开了一种超分辨多焦点结构光照明干涉散射显微成像方法及系统，包括：控制激光器产生激光，并将激光经过准直扩束后照射在数字微镜器件上；利用数字微镜器件对扩束后的激光进行调制，并将调制后的激光传输至晶圆表面，以在晶圆表面形成多焦点阵照明模式；通过相机采集晶圆表面反射的多焦点信息，并将多焦点信息加载到数字微镜器件的照明模版，实现整个晶圆表面的扫描成像检测；对扫描成像检测的若干原始点阵图像数据进行图像重构，得到晶圆特征结构的超分辨图像。本发明采用高速数字微镜器件和相机同步分时触发来实现多焦点点阵照明和扫描成像，不用进行芯片的荧光标记，能够进行快速、方便、可靠的进行超分辨芯片特征结构和缺陷检测。