基于双层胶的微纳器件制备方法

本发明公开了基于双层胶的微纳器件制备方法，通过黏附层电子束光刻胶和表层电子束光刻胶的双层胶设计，实现更好的去胶。本发明既能使用HSQ作为电子束光刻胶，又能避免后续去胶工艺对芯片造成影响。基于双层胶的微纳器件制备方法对提高HSQ在光学或光电子器件中的性能有积极作用，特别是在需要高Q因子的应用中，如光学谐振腔、滤波器或传感器等。总的来说，基于双层胶的微纳器件制备方法能够显著提高芯片的光学品质，同时保持了其基本光谱特征，这对于精密光学应用具有重要意义。