GaN HEMT芯片的封装方法及封装结构

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GaN HEMT芯片的封装方法及封装结构
申请号:CN202510056185
申请日期:2025-01-14
公开号:CN119864284A
公开日期:2025-04-22
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种GaN HEMT芯片的封装方法及封装结构,方法包括如下步骤:提供芯片和框架,其中框架的上侧表面设有功能区和引线区;将芯片固晶在框架的功能区;S3,设置连接在芯片和框架的引线区之间的键合线;于芯片的表面、键合线的表面和框架的引线区制备防水绝缘膜层;制备包覆芯片、键合线和框架的引线区的封装胶体。相较GaN HEMT芯片的传统封装手段而言,本申请实施例中GaN HEMT芯片的封装结构新增了防水绝缘膜层,进而能够提高GaN HEMT器件的防潮性能和绝缘性能,有利于改善水气侵入导致的失效问题。
技术关键词
芯片 封装方法 封装结构 框架 引线 GaNHEMT器件 气相沉积技术 聚对二甲苯 绝缘 组合体 环氧树脂 镀膜设备 模压机 纳米 硅胶 导热 水气 真空
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