摘要
本申请公开了一种GaN HEMT芯片的封装方法及封装结构,方法包括如下步骤:提供芯片和框架,其中框架的上侧表面设有功能区和引线区;将芯片固晶在框架的功能区;S3,设置连接在芯片和框架的引线区之间的键合线;于芯片的表面、键合线的表面和框架的引线区制备防水绝缘膜层;制备包覆芯片、键合线和框架的引线区的封装胶体。相较GaN HEMT芯片的传统封装手段而言,本申请实施例中GaN HEMT芯片的封装结构新增了防水绝缘膜层,进而能够提高GaN HEMT器件的防潮性能和绝缘性能,有利于改善水气侵入导致的失效问题。
技术关键词
芯片
封装方法
封装结构
框架
引线
GaNHEMT器件
气相沉积技术
聚对二甲苯
绝缘
组合体
环氧树脂
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