基于深度学习技术的纳米压印缺陷检测系统及方法

本发明涉及基于深度学习技术的纳米压印缺陷检测系统及方法，其包括以下步骤；步骤一，首先，通过光源控制器控制光源亮度，并通过相机采集具有缺陷检测样本数据的晶圆图片；然后，采集卡将晶圆图像传输到计算机；搭建目标分割训练检测系统的设计流程；步骤二，视觉图像分析软件，对晶圆图像进行预处理；步骤三，小图片样本使用YOLOv8n‑seg目标分割算法对每张图片进行缺陷检测，使用Labelme进行数据标注，将标注结果从JSON格式转换为txt格式，作为模型训练的样本数据集。