一种光机组件面形在位检测装置及方法

本发明公开了一种光机组件面形在位检测装置及方法，属于光学精密检测技术领域，其目的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在位监控装调过程中进行面形畸变检测的问题。装置中激光器产生的激光依次经光束隔离器、分光棱镜、准直镜A后入射至待测光机组件并产生反射，待测光机组件的反射光经准直镜A后入射至分光棱镜并产生反射，分光棱镜的反射光经由带孔光屏、准直镜B、相位板后入射至CCD相机；CCD相机与计算机系统连接，CCD相机记录的光斑图将被输入计算机系统，用于面形在位检测。该方法通过相位板对待测样品的反射光进行调制，采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现样品面形重构。其具有测量精度高、不需要参考平面、抗振能力强等优点。