摘要
本申请公开了功率半导体封装器件及功率控制方法,功率半导体封装器件包括基板;半导体芯片;均热板包括蒸发侧、冷凝侧和压力检测通道,蒸发侧与第二面热接触,均热板内部设置有用于存储冷却介质的储液腔,所述压力检测通道设置于所述冷凝侧,并与所述储液腔连通;散热器,与所述冷凝侧连接;压力检测装置,包括压力检测件、距离检测传感器,所述压力检测件设置于所述压力检测通道内,并能够沿所述压力检测通道的延伸方向往复移动,所述距离检测传感器朝向所述压力检测件设置,用于检测与所述压力检测件的距离。本发明通过压力检测装置可以调节功率半导体芯片的工作功率,从而在确保均热板高效运作的同时,避免内部压力过高,影响散热效率。
技术关键词
功率半导体封装器件
压力检测通道
距离检测传感器
压力检测装置
功率控制方法
热板
报警单元
冷凝
功率半导体芯片
红外测距传感器
激光测距传感器
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散热器
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