一种基于多孔衍射干涉的多维误差测量装置及方法

本申请公开了一种基于多孔衍射干涉的多维误差测量装置及方法，涉及装备测量领域，该基于多孔衍射干涉的多维误差测量装置中的测量组件包括衍射孔板；测量组件固定在目标装备上，且与目标装备的轴线方向平行；目标装备在空间进行多自由度移动时带动测量组件移动；激光源与测量组件处于同一轴线方向；衍射孔板上设置分布在与光轴正交的平面的水平和垂直方向的多个衍射孔隙；激光源发出的激光通过衍射孔板上的多个衍射孔隙后形成多孔衍射干涉图像；计算模块根据基于位姿识别模型和采集到多自由度移动过程中的多孔衍射干涉图像得到多自由度位姿变化，并对其进行补偿得到目标装备的多维误差，本申请可高精度、低成本地实现装备多维误差的测量。