一种MEMS振动传感器谐振频率自检方法、系统及设备

本发明公开了一种MEMS振动传感器谐振频率自检方法、系统及设备，该方法包括以下步骤：采用时域连续信号激励作为响应输入信号，并采集MEMS振动传感器的动态响应信号；建立MEMS振动传感器的动态响应数学模型；以采集的动态响应信号为辨识数据，采用改进粒子群算法优化的BP神经网络对动态响应数学模型中的谐振频率参数进行高精度辨识；基于谐振频率参数的辨识结果，计算MEMS振动传感器的机械灵敏度。本发明涉及MEMS振动传感器动态模型参数辨识技术领域，能够有效提升MEMS振动传感器谐振频率辨识精度。