包括连接柱的电子部件
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包括连接柱的电子部件
申请号:
CN202510083650
申请日期:
2025-01-20
公开号:
CN120356879A
公开日期:
2025-07-22
类型:
发明专利
摘要
本公开涉及包括连接柱的电子部件。更具体而言,提供了一种包括电子柱的电子部件。诸如电子芯片之类的示例电子部件包括具有相对的第一面和第二面以及旨在连接到电子部件外部的元件的导电柱的半导体基板、覆盖基板的第二表面的绝缘层,导电柱的第一部分从绝缘层突出并且导电柱的第二部分穿过绝缘层并在半导体基板中延伸至小于半导体基板的厚度的深度。
技术关键词
半导体基板
管状元件
电子芯片
界面
层沉积
导电柱
轨道
沪ICP备2023015588号