一种芯片基板表面质量检测设备及其检测方法

本发明提供了一种芯片基板表面质量检测设备及其检测方法，属于芯片检测技术领域，包括工作台，工作台顶部开设有第一安装通槽，第一安装通槽内设有透明承载玻璃，透明承载玻璃顶部设有用于放置芯片基板的工装；第一安装通槽底部设有安装盒，安装盒顶部开设有安装槽，安装槽内设有定位组件，定位组件包括有四组激光定位器，工装底部设有四组激光接收器，安装槽内对应四组激光接收器设有四组激光定位器，使得芯片基板定位在检测位置，提高检测结果的可靠性；工作台上设有检测组件，检测组件包括有两组用于检测芯片基板的视觉检测模块，两组视觉检测模块分别位于芯片基板的顶部与底部，可同时检测芯片基板的两面，无需翻面后重新定位。